XY位移台 5102.07

产品详细

XY位移台 5102.07
X1
精度 [μm]: (+/-) 6
重复精度 (unidir.) [μm]: (+/-) 1
反向误差 [μm]:    1
平面度 [μm]: (+/-) 4
直线度 [μm]: (+/-) 4
Z轴误差 ["]: (+/-) 3
Y轴误差 ["]: (+/-) 3
X轴误差 ["]: (+/-) 3

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