XY位移台 5102.18

产品详细

XY位移台 5102.18
X1 X2
精度 [μm]: (+/-) 50 15
重复精度 (unidir.) [μm]: (+/-) 5 3
反向误差 [μm]:    5 3
平面度 [μm]: (+/-) 15 15
直线度 [μm]: (+/-) 10 10
Z轴误差 ["]: (+/-) 15 15
Y轴误差 ["]: (+/-) 30 20
X轴误差 ["]: (+/-) 20 20

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