直线平移台 5101.30H-300

产品详细

直线平移台 5101.30H-300
X2 XE
精度 [μm]: (+/-) 10 定制
重复精度 (unidir.) [μm]: (+/-) 2 定制
反向误差 [μm]:    6 定制
平面度 [μm]: (+/-) 3.5 3.5
直线度 [μm]: (+/-) 3.5 3.5
Z轴偏移 ["]: (+/-) 2.5 2.5
Y轴偏移 ["]: (+/-) 3.5 3.5
X轴偏移 ["]: (+/-) 2.5 2.5

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