直线平移台 5101.30

产品详细

直线平移台 5101.30
X1 X2 XE
精度 [μm]: (+/-) 10 4 定制
重复精度 (unidir.) [μm]: (+/-) 3 2 定制
反向误差 [μm]:    6 4 定制
平面度 [μm]: (+/-) 3 2 2
直线度 [μm]: (+/-) 3 2 2
Z轴偏移 ["]: (+/-) 6 4 4
Y轴偏移 ["]: (+/-) 6 4 4
X轴偏移 ["]: (+/-) 6 4 4

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