MLS-25 模块化直线平移台

产品详细

MLS-25 模块化直线平移台
行程 [mm]
25
96
236
直线度 / 平面度 [μm]
     
俯仰 [μrad]
     
偏转 [μrad]
     

自重 [g], 开环

84
144 260
自重 [g], 闭环
85 148 265
电机选项
压电电机

最大速度 [mm/s]

2 (MMC-100), 10 (MMC-110)
编码器选项 无 (开环) 数字 (RS-422)
分辨率, 典型值[nm]双向 1 20
重复定位精度 [nm]单向 n/a ± 200
重复定位精度[nm] n/a 200
材料

铝台体、不锈钢轴承

(其他材料,比如不锈钢、钛合金等可按需求定制)

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