PPS-110SM 精密位移台

产品详细

PPS-110SM 精密位移台

 行程 [mm]

100 mm 200 mm 300 mm 500 mm 1000 mm
直线度 / 平面度 [μm]
±3 ±4 ±5 ±10 ±15
俯仰 [μrad]
±75 ±100 ±125 ±200 ±300
偏摆 [μrad]
±75 ±85 ±100 ±200 ±300

自重 [g], 开环

2050 2500 2950 3850 5750
自重 [g], 闭环
2075 2525 2975 3875 5775
电机选择
2-相步进电机

最大速度 [mm/s]

10(高速可定制)
编码器选择 开环 数字(RS-422)
分辨率[nm] 0.1 0.05
双向重复定位精度 [nm] ±4 ±0.2
单向重复定位精度 [nm] 0.4 0.2
材料 铝制机身,钢制轴承,不锈钢支架。
其他材料,如不锈钢,钛等可根据要求提供

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