PPS-60LM 高精度压电位移台

产品详细

PPS-60LM 高精度压电位移台

行程 [mm]

25 50 100 200 300
直线度 / 平面度 [μm]
±2.5 ±4 ±6 ±8 ±10

俯仰 [μrad]

±50 ±75 ±100 ±125 ±150
偏转 [μrad]
±50 ±75 ±100 ±125 ±150

自重 [g]

400 450 575 785 985
开环 直线电机

速度 [mm/s]

100
编码器 模拟 (1 Vpp) 数字(RS-422)
精度: 典型 [nm] 10 10
重复性: 双向 [nm] ±100 ±100
重复性: 单向 [nm] 100 100
材料 铝制阀体,钢制轴承
(其他材料,如不锈钢、钛等,可根据要求提供)

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