PPS-50LM 精密位移台

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PPS-50LM 精密位移台

行程 [mm]

26 50 75 100
直线度 / 平面度 [μm]
±2 ±3 ±4 ±5

俯仰 [μrad]

       
偏转 [μrad]
       

自重 [g],开环

210 350 450 540
自重 [g],闭环 220 360 460 550
开环 直线电机

速度 [mm/s]

>300 (NanoDrive)
编码器 绝对值编码器(BiSS C)
精度: 典型 [nm] 12.5
重复性: 双向 [nm] ±50
重复性: 单向 [nm] 50
材料 铝制本体,钢制轴承
(其他材料,如不锈钢、钛等,可根据要求提供)

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