PPS-28PM 精密位移台

产品详细

PPS-28PM 精密位移台

行程 [mm]

26 51 76 102
直线度 / 平面度 [μm]
±1.5 ±2.5 ±3 ±3.5

步距 [μrad]

±50 ±70 ±80 ±100
角度偏差 [μrad]
±60 ±75 ±90 ±100

自重 [g],开环

70 140 170 240
自重 [g],闭环 75 150 200 250
电机类型 压电电机

最大速度 [mm/s]

2 (MMC-100), 10 (MMC-110)
编码器类型 无 (开环) 模拟 (1 Vpp) 数字 (RS-422)
精度,典型 [nm] 0.1 0.05 0.05
重复性,双向 [nm] n/a ±50 ±50
重复性,单向 [nm] n/a 50 50
材料 铝合金本体, 导轨钢
(其他材料 如. 不锈钢, 钛,根据需求提供)

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