PPS-20LM 精密位移台

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PPS-20LM 精密位移台

行程 [mm]

11 18 25
直线度 / 平面度 [μm]
±1 ±1.5 ±1.5

俯仰 [μrad]

±60 ±80 ±80
偏转 [μrad]
±70 ±90 ±90

重量 [g]

40 50 60
电机类型 音圈直线电机

最大速度 [mm/s]

100
编码器类型 模拟 (1 Vpp) 数字 (RS-422)
精度, 典型 [nm] 10 10
重复性, 双向 [nm] ±100 ±100
重复性, 单向 [nm] 100 100
材料 铝制本体,钢制轴承
(其他材料,如不锈钢、钛等,可根据要求提供)

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