升降台 5103.A20-90

产品详细

升降台 5103.A20-90
X1 X2 XE
精度 [μm]: (+/-) 5 3 定制
重复精度(unidir.) [μm]: (+/-) 3 1 定制
反向误差 [μm]:          14 8 定制
平面度 [μm]: (+/-) 7 5 5
直线度 [μm]: (+/-) 7 5 5
Z轴偏差["]: (+/-) 12 8 8
Y轴偏差 ["]: (+/-) 12 8 8
X轴偏差 ["]: (+/-) 13 9 9

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