升降台 5103.A10

产品详细

升降台 5103.A10
  X1 X2 XE
精度 [μm]: (+/-) 7 3 定制
重复精度(unidir.) [μm]: (+/-) 3 2 定制
反向误差 [μm]:          10 3 定制
平面度 [μm]: (+/-) 12 5 5
直线度 [μm]: (+/-) 12 5 5
Z轴偏差["]: (+/-) 14 8 8
Y轴偏差 ["]: (+/-) 14 8 8
X轴偏差 ["]: (+/-) 14 8 8

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