PPS-110LM 精密位移台

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PPS-110LM 精密位移台

 行程 [mm]

100 200 300 500 1000
直线度 / 平面度 [μm]
±3 ±4 ±5 ±10 ±15
俯仰 [μrad]
±75 ±100 ±125 ±200 ±300
偏摆 [μrad]
±75 ±85 ±100 ±200 ±300

重量 [g]

2700 3500 4300 6200 11000
开环
直线电机

速度 [mm/s]

250 (依据负载而定)
编码器 数字(RS-422)
精度:典型 [nm] 10
重复性:双向 [nm] ±100
重复性:单向 [nm] 100
材料 铝制阀体,钢制轴承
(其他材料,如不锈钢、钛等,可根据要求提供)

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