PPS-60PM 高精度压电位移台

产品详细

PPS-60PM 高精度压电位移台

 行程 [mm]

25 50 100 200 300
直线度 / 平面度 [μm]
±2.5 ±4 ±6 ±8 ±10

步距 [μrad]

±50 ±75 ±100 ±125 ±150
角度偏差 [μrad]
±50 ±75 ±100 ±125 ±150

自重 [g],开环

335 380 480 660 850
自重 [g],闭环 345 390 490 670 860
电机类型
压电电机

最大速度 [mm/s]

2 (MMC-100), 5 (MMC-110)
编码器类型 无(开环) 模拟 (1Vpp) 数字(RS-422)
精度,典型 [nm] 1 10 2
重复性,双向 [nm] n/a ±500 ±100
重复性,单向 [nm] n/a 500 100
材料 铝合金本体, 导轨钢
(其他材料 如. 不锈钢, 钛,根据需求提供)

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