PPS-110PM 压电位移台

产品详细

PPS-110PM 压电位移台

 行程 [mm]

100 mm 200 mm 300 mm 500 mm 1000 mm
直线度 / 平面度 [μm]
±3 ±4 ±5 ±10 ±15
螺距 [μrad]
±75 ±100 ±125 ±200 ±300
轴向偏差 [μrad]
±75 ±85 ±100 ±200 ±300

重量 [g], 开环

1610 2015 2510 3360 5200
重量 [g], 闭环
1660 2065 2560 3410 5265
电机选项
压电电机

最大速度 [mm/s]

5 (MMC-110)
编码器选项 开环 数字(RS-422)
精度,典型 [nm] 1 2
重复精度,双向 [nm] n/a ±100
重复精度,单向 [nm] n/a 100
材料 铝合金本体, 导轨钢
(其他材料 如. 不锈钢, 钛,根据需求提供)

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