PPS-60SM 精密位移台

产品详细

PPS-60SM 精密位移台

 行程 [mm]

25 50 100 200 300
直线度 / 平面度 [μm]
±2.5 ±4 ±6 ±8 ±10

俯仰 [μrad]

±50 ±75 ±100 ±125 ±150
偏摆 [μrad]
±50 ±75 ±100 ±125 ±150

自重 [g],开环

600 650 750 950 1200
自重 [g],闭环 610 660 760 960 1210
电机选择
2-相步进电机

最大速度 [mm/s]

5 (10 外置步进电机)
编码器选择 无(开环) 模拟 (1Vpp) 数字(RS-422)
分辨率 [nm] 0.1 0.1 0.05
双向重复性定位精度 [nm] ±4 ±0.2 ±0.2
双向重复性定位精度 [nm] 0.2 0.2 0.2
材料 铝制机身,钢制轴承,不锈钢支架。
其他材料,如不锈钢,钛等可根据要求提供

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