PPS-50PM 高精度压电位移台

产品详细

PPS-50PM 高精度压电位移台

行程 [mm]

26 50 75 100
直线度 / 平面度 [μm]
±2 ±3 ±4 ±5

步距 [μrad]

       
角度偏差 [μrad]
       

自重 [g],开环

170 300 400 500
自重 [g],闭环 180 310 410 510
电机类型 压电电机

最大速度 [mm/s]

>10 (NanoDrive)
编码器类型 无(开环) 数字 (RS-422) 绝对式(BiSS C)
精度: 典型 [nm] 1 1 12.5
重复性: 双向 [nm] n/a ±20 ±50
重复性: 单向 [nm] n/a ±20 ±50
材料 铝合金本体, 导轨钢
(其他材料 如. 不锈钢, 钛,根据需求提供)

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