PPS-28SM 精密位移台

产品详细

PPS-28SM 精密位移台

行程 [mm]

26 51 76 102
直线度 / 平面度 [μm]
±1.5 ±2.5 ±3 ±3.5

俯仰 [μrad]

±50 ±70 ±80 ±100
偏摆 [μrad]
±60 ±75 ±90 ±100

自重 [g],开环

110 180 240 290
自重 [g],闭环 120 190 250 300
电机选择 2相步进电机

最大速度 [mm/s]

5
编码器选择 无 (开环) 模拟 (1 Vpp) 数字 (RS-422)
分辨率 [nm] 0.1 0.05 0.05
双向重复性定位精度 [nm] ±4 ±0.2 ±0.2
单向重复定位精度 [nm] 0.5 0.2 0.2
材料 铝制机身,钢制轴承,不锈钢支架。黄铜
其他材料,如不锈钢,钛等可根据要求提供

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