PPS-28LM 精密位移台

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PPS-28LM 精密位移台

行程 [mm]

26 51 102
直线度 / 平面度 [μm]
±2 ±2.5 ±3.5

俯仰 [μrad]

±60 ±70 ±100
偏转 [μrad]
±70 ±75 ±100

自重 [g]

125 175 280
电机类型 直线电机

速度 [mm/s]

100 (依据负载)
编码器 模拟 (1 Vpp) 数字 (RS-422)
分辨率:典型的 [nm] 10 10
重复性:双向 [nm] ±50 ±100
重复性:单向 [nm] 50 100
材料 铝制本体,钢制轴承
(其他材料,如不锈钢、钛等,可根据要求提供)

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