PPS-20PM 精密位移台

产品详细

PPS-20PM 精密位移台

行程 [mm]

12 18 26 51
直线度 / 平面度 [μm]
±1 ±1.5 ±1.5 ±2.5

步距 [μrad]

±60 ±80 ±80 ±100
角度偏差 [μrad]
±70 ±90 ±90 ±100

自重 [g],开环

22 28 36 70
自重 [g],闭环 25 35 42 78
电机类型 压电电机

最大速度 [mm/s]

2 (MMC-100), 10 (MMC-110)
编码器类型 无 (开环) 模拟 (1 Vpp) 数字 (RS-422)
精度, 典型 [nm] 1 10 2
重复性, 双向 [nm] n/a ±50 ±50
重复性, 单向 [nm] n/a 50 50
材料 铝合金本体, 导轨钢
(其他材料 如. 不锈钢, 钛,根据需求提供)

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