EZ0570 XY 气浮载物台

产品详细

EZ0570 XY 气浮载物台
长x宽x高[mm]: 200x200x140
角度范围[°]: 360
轴向带载能力[N]: 2500
径向带载能力[N]: 2500
轴向跳动误差[μm]: 1
径向跳动误差[μm]: 1
轴向刚度 [N/μm]: 350
径向刚度[N/μm]: 125
抗倾斜度 [Nm/μrad]: 0.58
倾斜导向力[μrad/Nm]: 1.7
惯性矩 [kg m2]: 0.019
重量 [kg]: 15.43
供气压力 [bar]: 5
空气消耗[NI/min]: 18
材料(壳体): 铝合金 阳极化
材料(转子): 铝合金 表面硬化

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