X-BOT-120 6轴台

产品详细

X-BOT-120 6轴台
Tx, Ty 行程[mm] ± 6
Tz 行程 [mm] +3.5/-6
Rx 行程[deg] +7/-9
Ry 行程 [deg] ± 9
Rz 行程[deg] ± 6
电机选项
压电电机

最大速度

5mm/s, 3 度/s (MMC-110)
编码器选项 数字增量式 绝对式
分辨率 Tx, Ty, Tz [nm] 2 12.5
分辨率Rx, Ry, Rz [µdeg] 50 50
重复定位精度 Tx, Ty, Tz [nm] 50 50
重复定位精度 Rx, Ry, Rz [µdeg] 50 50
材质 铝台体、不锈钢轴承
(其他材料,比如不锈钢、钛合金等可按需求定制)

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