ES-50PM 压电升降台

产品详细

ES-50PM 压电升降台
行程[mm] 10
直线度 / 平面度 [μm] ± 4
俯仰 [μrad] ± 300
偏摆 [μrad] ± 300
重量[g], 开环 160
重量[g], 闭环 165
电机类型
压电电机
速度,最大 [mm/s] > 1 (MMC-100), > 5 (MMC-110)
编码器 无 (开环) 模拟 (1 Vpp) 数字 (RS-422)
精度 , 典型 [nm] 1 10 2
重复性 , 双向 [nm] n/a ±50 ±50
重复性 , 单向 [nm] n/a 50 50
材质 铝制阀体,钢制轴承
(其他材料,如不锈钢、钛等,可根据要求提供)

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