升降台 5103.D40

产品详细

升降台 5103.D40
X1 XE
精度 [μm]: (+/-) 15 定制
重复精度(unidir.) [μm]: (+/-) 3 定制
反向误差 [μm]:          3 定制
平面度 [μm]: (+/-) 20 20
直线度 [μm]: (+/-) 20 20
Z轴偏差["]: (+/-)   2 2
Y轴偏差 ["]: (+/-)   2 3
X轴偏差 ["]: (+/-)   4 4

 

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