升降台 5103.C10

产品详细

升降台 5103.C10
X1 XE
精度 [μm]: (+/-) 7 定制
重复精度(unidir.) [μm]: (+/-) 2 定制
反向误差 [μm]:          10 定制
平面度 [μm]: (+/-) 9 9
直线度 [μm]: (+/-) 9 9
Z轴偏差["]: (+/-) 14 14
Y轴偏差 ["]: (+/-) 14 14
X轴偏差 ["]: (+/-) 14 14

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