升降台 5103.A20-40

产品详细

升降台 5103.A20-40
X1 X2 XE
精度 [μm]: (+/-) 5 2 定制
重复精度(unidir.) [μm]: (+/-) 3 1 定制
反向误差 [μm]:          12 7 定制
平面度 [μm]: (+/-) 4 3 3
直线度 [μm]: (+/-) 4 3 3
Z轴偏差["]: (+/-) 10 5 5
Y轴偏差 ["]: (+/-) 10 5 5
X轴偏差 ["]: (+/-) 11 6 6

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