白光干涉三维形貌仪(倍数20x)

产品详细

干涉物镜

放大倍数MAG

20x

数值孔径NA

0.40

工作距离WD(mm)

4.7

视场范围FOV(um)

900x565

像素大小(μm)

0.47

横向分辨率

(道斯判据)(um)

0.68

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