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固体阻尼隔振光学平台-KOT 系列

 

紧凑的机身集成了6自由度的主动除振机构,可实现以往的被动型无法达到的除振效果。这款机器可以最大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及离分解能力。

 

台面材料:铁磁不锈钢;

台面安装孔: 25mm×25mm阵列, K6螺纹孔;

平台加支架总高度: 800mm;

平台总高度可调节范围:-20~+30mm;

平台支架:采用四支撑结构;

隔振材料:复合材料固体阻尼材料;

平台不平度:0.02-0.005mm/平方米;

表面粗糙度:0.6-1.6微米;

固有频率:<8Hz

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