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micronix 升降台

ES-50PM 压电升降台为使用空间有限而设计。ES-50PM 由获专利多相压电电机驱动。交叉滚子轴承确保平稳运动和高刚度。ES-50PM 与PPS-60, VT-50, PPX-50 线性载物台组合时,可实现高刚性的XZ或XYZ设置,无需适配器支架。可提供真空版本(10-9 mbar) 。ES-50PM 与 MMC-100 和MMC-110控制器组合使用。

关键特性

• 行程10 mm

• 2 nm闭环编码器控制

• 负载能力 1 kg (带恒力弹簧)

• 交叉滚柱轴承

• 机械限位开关

• 真空无磁版本可选

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行程(mm)
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±14 x ±14 x ±2.5 XYZ, ±9° x ±10°(中心位置)
20
0.0
待定
±6 x ±6 x +3.5/-6 xyz, ±7° x ±9° x ±6° (中心位置)
50
0.5
待定
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