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桌面式主动隔振-ME40系列

紧凑的机身集成了6自由度的主动除振机构,可实现以往的被动型无法达到的除振效果。这款机器可以最大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及离分解能力。

• 应用

扫描探针显微镜、共聚库激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测定器及其他的精密测定。精密加工机器。

• 6自由度主动控制 

可以随时监控搭载盘的振动, 通过内置的驱动器施加反向位的力, 通过这种方式实现振动控制。

实现3维(6自由度)的控制。 

• 丰富的尺寸变化 

桌上型有2种尺寸, 桌子型有2种尺寸, 合计4种尺寸。搭载盘的材料如下(桌上型:振动控制铝板; 桌上型:钢铁制蜂巢光学平板。)

• 轻负重优化设计的L型号 

对千小型SPM等轻星的搭载物, 为了能够更好地发挥其除振性能, 准备了轻负重的型号。

• 自动主动调整&自动水平调整 

主动控制所不可或缺的增益涸整采用了明立精机独有的控制系统, 通过这种方式可以得到自动优化。(※)

• 只需要接通电源即可使用 

所需要使用的工具只需要接通电源。无需准备压壤机等空气源。对安装场所、使用环境没有特别要求。

※搭载物是台面等可移动物体时, 在某些环境下有可能无法自动调整。敬谓谅解。

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430*530
桌上型
80 (L是40)
待定
530*630
桌上型
80
待定
800*600
桌子型
200
待定
1000*750
桌子型
200
待定
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