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空气悬浮主动隔振-MAPS

 

• 小巧玲珑的MAPS系列能应对全自由度的振动

明立精机的MAPS系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1组4个的话,对应全自由度的振动,能发挥出优秀的除振性能、制振性能、定位性能等。

• MAPS可以消除被动除振的困难频段的振动

被动除振不时常有,因为固有振动而产生的共振问题的例子,如果进行主动化即可去除固有振动的共振。而且,也能获得在此频段的优秀除振性能。例如:在被动除振不擅长的2Hz附近的低频振动领域中,比起被动除振,主动除振可以将振动减小至1/30~1/100以下。

• 标准的MAPS可除振10吨以上的设备

近年的精密设备伴随着功能的充实,越来越倾向于大型化。总重量超过10吨的设备已经被开发出来。因为设备的大型化很难保持设备自身的高固有频率,所以以前几乎不会成为问题的低频振动却变得很容易影响设备。这个也是对于低频振动有优秀除振性能的主动型除振系统必需的一个理由。

• 搭载工件等移动装置也不会摇摆

由柔软的弹性体支持的被动除振装置之上,如果搭载X-Y工件等伴随摇动的装置,设备整体大幅度摇动也有很大可能会造成振动增加。主动型除振由于采用反馈控制,能经常保持静止状态。而且,主动型采用了预先判断工件的移动并发出信号,使发生的振动变得更小的前馈控制,能为您提供几乎没有摇晃的环境。

• MAPS具有优秀的精确定位及精密校平性能

设备变大的话,倾斜就会成为问题。由于设备自身很重,如果倾斜,自重会造成弯曲,对精度的显著影响就会出现。因为MAPS是充分考虑精密校平性能后实行控制的,能抑制倾斜并能保持精度。其次,MAPS考虑精确定位后实行控制,能平顺地传递晶圆及LCD面板。

• MAPS是小型易操作的组合型系列

MAPS系列是将全部必要的功能,与客户的设备简易组装而成的小型组合型。各个型号整合而成主动型除振系列。只要确保MAPS的安装空间,就能获得不被振动影响的环境。MAPS系列的控制系统非常安定,当然除了配套您公司内部使用的设备,您也可以放心的将其作为配套产品一起销售。

• MAPS是构成精密设备的一个重要部分

迄今为止,负载物的更换及重心的移动导致的移动,对十此振动存有个安而使用除振装置的人越来越多,像今时今日一样不断向高精度化、高性能化、大型化发展。一样如果不搭载除振装置去除振动的影响,就会引起无法发挥规格书上性能的现象。除振装置与其说是精密仪器的配套装置,可以说是为了完善精密仪器构成系统,发挥工性能的重要的一部分。

• 在设备开发开始的时候,请通知我们

MAPS系列一在小巧玲珑的形状中具备了除振所必需的全部性能。因此,无需像以前那样设置除振装置时需要确保宽广的空间。当然,设备开发完后也能轻易地组装MAPS,如果那样的话,会较多出现各种各样的制约。无论从除振性能方面还是成本方面看,都不能说是好方法。设备开发阶段时候,如果根据设计组装MAPS的架台、框体等,就能有效地利用空间,从除振性能面来看,也能将MAPS组装到有利的位置。像这样,在精密设备的开发、设计时候,将 包含MAPS组装的课题也一起探讨的话,就有可能接近更良好的除振环境状态。

 

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