PRODUCT CENTER


产品中心
关闭
  • 在线询价
共 X 个 清空全部内容
主动隔振器-MRZ

在MAPS系列的基础上,我们开发了高性能、合理的主动气动悬架系统MRZ系列

• 业务领域

用于测量,用于半导体。

• 特征

FPD·半导体制造设备、电子显微镜、真空关联装置、测量机、超精密加工等。

• 6自由度的主动隔振

每台机组有垂直和水平两个气压执行机构,具有优异的隔振、抑振和精确定位性能。

• FB+FloorFF 控制

FB:反馈

FloorFF:底面反馈

StageFF:运动反馈(可选)

• 轻巧、省电、价格合理

实现重量轻、体积小、省电、价格合理。

• 专利

日本专利号5457821

展开表
关闭
  • 产品对比
  • 在线预约
  • 预约申请
  • 样品申请
  • 加入报价
共 X 个

总价:¥

清空全部内容
台面尺寸
机体形状
载重
货期

+加入列表

240x240x191
-
500~1,500
待定
324x252x191
-
1,500~4,400
待定
504x404x191
-
4,000~12,800
待定
694x594x191
-
10,000~32,000
待定
< 1 >

请留下您宝贵的反馈

提交