XY位移台 5102.15

产品详细

XY位移台 5102.15
X1 XE
精度 [μm]: (+/-) 14 定制
重复精度 (unidir.) [μm]: (+/-) 5 定制
反向误差 [μm]:    4 定制
平面度 [μm]: (+/-) 3 3
直线度 [μm]: (+/-) 3 3
Z轴误差 ["]: (+/-) 5 5
Y轴误差 ["]: (+/-) 6 6
X轴误差 ["]: (+/-) 6 6

X2:值可定制

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