LF1 压电位移台

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LF1 压电位移台
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产品详细

LF1是一种紧凑型单轴压电位移台,具有66毫米的正方形开口,行程范围为100微米、200微米或300微米。当需要低占用空间和开口时,推荐使用LF1LF1可以堆叠使用(请参阅2轴型号LF2),并且如果需要,可以配备集成的50微米Z轴行程范围(请参阅3轴型号LF3)。

这种压电位移台可以与粗定位微型台组合使用(请参阅我们的混合系统)。

LF1可以使用方形样品架。

 LF1.100LF1.200

LF1.300

行程范围(μm)100200300
分辨率(nm)0.10.20.3
噪声水平(nm-typ.)0.010.020.03
重复性精度(nm)0.20.40.6
直线度(typ.)0.02%0.02%0.02%
谐振频率(Hz)500400300
刚度(N/μm)0.60.50.4
传感器类型硅高分辨率传感器硅高分辨率传感器硅高分辨率传感器
尺寸(W×L×H, mm)121×118×13.6121×118×13.6121×118×13.6
材料铝合金铝合金铝合金
电缆长度(m)222
控制器标准标准标准
最大负载(kg)*   

水平使用

111

垂直使用

0.50.50.5

*根据需求可提供更高负载。

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