升降台 5103.C30

产品详细

升降台 5103.C30
X1 XE
精度 [μm]: (+/-) 3 定制
重复精度(unidir.) [μm]: (+/-) 1 定制
反向误差 [μm]:          5 定制
平面度 [μm]: (+/-) 2 2
直线度 [μm]: (+/-) 2 2
Z轴偏差["]: (+/-) 2 2
Y轴偏差 ["]: (+/-) 2 2
X轴偏差 ["]: (+/-) 2 2

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