HS1H 压电位移台

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HS1H 压电位移台
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产品详细

HS1H是一种紧凑的纳米定位器,它可以组合形成2轴甚至3轴纳米定位系统。它可以提供10305070100微米的行程范围,并且具有33毫米的中心孔径,非常适合光学显微镜应用。由于直接驱动结构,它具有特别短的步进响应时间。这款纳米定位器是我们高速产品线的一部分(可提供高功率控制器)。

 HS1H.10

HS1H.30

HS1H.50

HS1H.70

HS1H.100

行程范围(μm)

10

305070100
分辨率(nm)

0.01

0.030.050.070.1
噪声水平(nm-typ.)

0.0001

0.0030.0050.0070.01
重复性精度(nm)

0.02

0.060.10.140.2
直线度(typ.)

0.02%

0.02%0.02%0.02%0.02%
谐振频率(Hz)

7000

4000400040001500
刚度(N/μm)

5.2

3331.1
传感器类型

硅高分辨率传感器

硅高分辨率传感器硅高分辨率传感器硅高分辨率传感器硅高分辨率传感器
尺寸(W×L×H, mm)

62.5×96.1×12.6

62.5×96.1×12.662.5×116.1×12.662.5×138.1×12.662.5×138.1×12.6
材料

铝合金

铝合金铝合金铝合金铝合金
电缆长度(m)

2

2222
控制器

标准或高速

标准或高速标准或高速标准或高速标准或高速
最大负载(kg)*

 

    

水平使用

1

1111

垂直使用

0.5

0.50.50.50.5

*根据需求可提供更高负载。

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